ESD/LATCH-UP/CDM/TLP試験装置のご案内です

トランスミッション・ライン・パルス（TLP）テスト・システムは、幅の狭いパルスを使って、20アンペア程度の大電流領域までの電圧（V）／電流（I）特性を測定する、パルスモード・カーブトレーサです。トランスミッション・ラインとは、高周波信号の接続に使用される同軸ケーブルの事です。同軸ケーブルの反射を使用すると、高電圧で、幅の狭いパルスが、比較的簡単な回路構成で得られることから、欧米では古くから、集積回路のESD保護回路の特性解析に使用されてきました。

しかし、回路構成は簡単ですが、立上り部分がきれいで、パルス振幅が安定した波形を得ることは、極めて困難なため、実験室で構築されたTLPテスト・システムは測定の再現性が充分でありませんでした。

BARTH社のTLPは、世界初の商用TLPテストシステムです。この装置で測定しますと、貴社の保護回路の特性が安定していれば安定した曲線が、そうでなければ、折れ曲がった測定結果が得られます。リーク電流の変化を検出することにより、2次降伏電流や、絶縁破壊点を測定することができます。 また、ウェーハプローブ、モデル45001WPを併用すると、ウェーハ上の素子の特性を、測定精度を損なうことなく試験できます。

特長・機能

■モデル4003

スナップバック特性を再現良く測定 非破壊で測定可 最大20A (30A)でパルス出力 最大1000V (1500V)の高電圧印加 両極性でパルス出力 リーク測定機能 パルス幅可変　標準100nS、75nS

■モデル4012

超高速応答のスナップ・バック測定、評価 DUT部の電流/電圧測定　最大16A CDMモード等超高速ESD保護回路評価 短波形のパルス幅を可変　最小1nS 立上時間可変　最小100pS