半導体、電子部品の静電気破壊(ESD/CDM)・ラッチアップに対する信頼性を評価する静電破壊試験器

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>> 静電気(ESD)の信頼性試験｜装置一覧

半導体デバイスの信頼性向上を目的とする、国内、国際（JEITA、JEDEC、ESDA、AEC）試験規格に準拠した静電気評価器機のラインナップです。全自動の静電破壊(ESD)試験器、ラッチアップ(Latch-Up)試験器、CDM試験器から、マニュアルのESD試験、CDM試験まで幅広い用途に対応いたします。

全自動ESD/CDM/ラッチアップ試験器

静電破壊試験器
写真	最大ピン数	最大印加電圧	VCC電源		試験					モデル
			内部	外部	ESD	CDM	L-UP	破壊判定	用途
	1024	4500V	4	8	○	-	○	○	多ピンIC	M7000X
		8000V
	512	4500V	4	4						M7000A
		8000V
		4500V	-	-	○	-	-	-	大型液晶	LCD700E
		8000V
		-	4	8	-	-	○	○	多ピンIC	M7600L
	128	4500V	4	8	○	-	-	○	少ピンIC	M7500E
							○			M7500EL
	2048 (512)	4000V	-	-	-	○	-	-	IC LSI	CDM550
			4	4				○		CDM550M

ESDステーション 1100シリーズ
写真	最大ピン数	最大印加電圧	VCC電源		試験					モデル
			内部	外部	ESD	CDM	L-UP	破壊判定	用途
	-	4000V	-	-	○	○	-	○	電子部品 LED	1100 xx
		8000V				-
	128	4000V	4	4	○	○	○		IC LSI
		8000V				-
	256	4000V				○
		8000V				-

ESD/CDM/TLPシミュレータ

写真	最大印加電圧	試験					モデル
		ESD	CDM	TLP	破壊判定	用途
	1000V	○	-	-	○	MRヘッド	Ecdm-100E
	4000V		○	○		半導体電子部品	Ecdm-400E
	8000V		-	-			Ecdm-800E
	4000V	○	-	-	○	ウェハー	Ecdm-400SW
						チップ部品	Ecdm-400SC
	4000V	○	-	-	○	LED 電子部品	Ecdm-400S-AUTO
	8000V						Ecdm-800S-AUTO
	4000V	-	-	○	○	半導体電子部品	Ecdm-400S-TLP

TLP試験器

モデル4002/4012

■世界初の商用TLPテストシステム
■リーク測定機能内臓
■超高速応答のスナップ・バック測定

CMRテスタ

モデル6200

■dv/dt高電圧パルス発生器
■パルス出力電圧（dt）：±500V～±2KV
■dv/dtの選択：1KV/uS、5KV/uS、10KV/uS、20KV/uS、30KV/uS

マニュアル・ウェーハ・プローバ

	モデルSE-1000/6003
	■X-Yステージ移動量：X軸200mm、Y軸200mm ■X-Yサブステージ移動量：φ305mm ■試料台ローテーション：粗動180°微動10°